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一种压印光刻中凸起光栅对准标记的制作方法

2017年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种压印光刻中凸起光栅对准标记的制作方法，包括以下步骤有：
　　1）首先确定获得高对比度莫尔条纹图像对应的折射光栅折射率范围，在该范围内进行光栅材料选择；
　　2）光刻，制作光栅标记掩膜板，并以光栅标记掩膜板为掩护，刻蚀光刻胶层，分别在压印基底和模板上得到光刻胶栅条；
　　3）溅射，在有光刻胶栅线的基板上溅射优化光栅材料；
　　4）剥...
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