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一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器，包括原基板（3），与原基板（3）连接的固定轴（4），依次轴向设置在固定轴（4）上的支撑板（5）和用于连接真空腔的固定法兰（2），支撑板（5）和固定法兰（2）上贯穿有平行于固定轴（4）的传动轴（6），传动轴（6）的外端部设置有转动手柄（7）；其特征在于，在原基板（3）上设置有一扩大基板（8），垂直于扩大基板（8）贯穿有一从动轴（9），从动轴（9...
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