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一种气溶胶平滑分束装置

2017年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种气溶胶平滑分束装置，包括进气口、匀化室、气溶胶比例分割器和出气口，进气口的外端与激光剥蚀腔的出口端相连，内端从边部非轴向导入到匀化室中，气溶胶经过匀化后经插入4/5的导出管道排至气溶胶分割器并分至两路出气口，分别连至不同的检测设备进行分析测试；匀化室的椭球形设计使得气溶胶组成更加均一；气溶胶比例分割器可依据需要在线调节两个出气口气溶胶分配比例；本发明充分保证了分配至两个出气口的...
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