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混合靶磁控溅射法制备钛酸钴薄膜的方法

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　混合靶磁控溅射法制备钛酸钴薄膜的方法，将TiO2和Co2O3混合造粒后预烧制得靶材；将基片放入丙酮、乙醇混合溶液中超声清洗；将清洗后的基片放入磁控溅射仪的镀膜样品台上，再将靶材置于磁控靶位，对镀膜室和样品室内抽真空，向镀膜室内通入Ar气对基片表面进行反溅清洗；反溅清洗完毕后，施加射频溅射功率启辉并移开靶材和基片的挡板，开始向基片镀膜；镀膜完成后，关闭挡板及靶材电源，待镀膜室内温度降至室温时，关...
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