首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

多晶硅生产含氯硅烷废气处理技术研究运用

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　该项目主要是研究一种处理多晶硅生产过程中产生的含氯硅烷废气的处理工艺及方法，通过重新设计安装调试后的一体式三级淋洗装置达到了国内同行业先进技术水平，自动化程度高，解决传统处理工艺过程中的着火等安全问题、废渣难以分离的问题、碱液浪费的成本问题。该系统将原有的处理能力从500Nm3/h提高到2000Nm3/h，将氯化氢和氯硅烷的吸收率分别提高到99.9%和98%，实现对废气中氯硅烷、氯化氢的有效控...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统