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高精密半导体微细丝动态键合拉力检测系统

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  本产品是为满足和适应半导体元器件封装微型化、高集成化发展需求以及精准检测半导体微细丝键合拉力性能而开发、生产的高精密半导体微细丝动态键合拉力检测系统(检测仪)。系统由检测仪主体、力学分析/计量测试软件两部分组成。检测仪主体包括机身总成、伺服控制、显微观测、高频响动态力学测量、实时智能数字信号闭环控制5个子系统;力学分析/计量测试软件包括动态力学分析和力学计量测试2个子系统。本系统基于和采用了自...
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