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溅射法制备Ba（Ti0.85Sn0.15）O3/ITO薄膜电容器研究

2017年

基础理论

成果简介

　　Ba（Sn、Sr）xTi1-xO3 材料具有非线性效应，即材料的介电常数随外加电场的变化而变化，这种特点使它在现代微波通信元件（如电调振荡器、电调滤波器）及军事雷达移相器元件中的重要应用而得到广泛的关注和研究。在当前元器件短小轻薄的发展趋势下，相比MEMS 技术、半导体和磁性氧化物材料制备的电调可变微波器件，采用溅射法制备的Ba（Sn、Sr）xTi1-xO3 铁电薄膜具有调谐速度快、功率和损耗...

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