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大尺寸MOCVD衬底承载盘高速旋转振动补偿控制方法研究

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　项目以大尺寸衬底承载盘高速旋转的动力学建模，振动影响因素分析难题为切入点，以衬底承载盘高速旋转振动补偿控制决策的规划、振动补偿量计算相关科学问题为突破口，通过多学科交叉，解决大尺寸衬底承载盘高速旋转振动影响因素提取、振动影响因素重要度的权重评价、衬底承载盘高速旋转振动多输入-输出补偿控制等方面的理论问题。项目研究成果不仅满足半导体外延设备各种衬底承载系统设计的需求，而且对提高我国MOCVD 、...
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