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基于MEMS压力传感和气路集成化技术的直压测漏仪研发

2017年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
  1、课题来源与背景:
  项目名称: 基于MEMS压力传感和气路集成化技术的直压测漏仪研发
  计划类别: 科技型企业发展专项
  专题名称: 科技型中小企业创新-创新项目
  起止时间: 2016-05-01到2017-04-30
  承担单位: 广州市上腾电子科技有限公司
  组织单位: 广州开发区科技创新和知识产权...
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