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基于蚀刻技术的超精密滤网

2017年

应用技术

中期阶段

成果简介

　　（1）产品设计：对产品在设计上进行调整与控制，抵消累计误差而造成最终产品的超差，保证工序能力指数（cpk）能达标。
　　（2）控制胶片对位：由于产品网孔小且密，为了确保胶片对位的精确度，我公司改变原有的对位方式，将原先纯人工手动对位，变为增加显微镜辅助对位。
　　（3）改进蚀刻设备：为保证蚀刻液喷射均匀，将蚀刻机进液由非对流式改为对流式；同时，在蚀刻过程中提高了蚀刻压力...

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