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半导体SOS用4英寸R向蓝宝石衬底

2017年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　1、项目提出的背景及意义
　　1.1 项目提出的背景
　　SOS（Silicon-on-Sapphire）是一个异质外延的过程，即蓝宝石晶圆上生长一层硅薄层（典型厚度小于0.6微米）。SOS隶属CMOS技术中绝缘体衬底上的硅外延技术（SOI）。因为与生俱来的耐辐射特性，SOS主要用于航天和军事应用。通常情况下使用的是高纯度人工栽培的蓝宝石晶体，通常是由加热分解硅烷，后...

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