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基于快速建模的大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种基于快速建模的大数值孔径光刻投影物镜波像差检测方法，分为快速建模和像差提取两阶段，快速建模阶段先设定光的偏振态、投影物镜的偏振像差以及数值孔径等参数，采用一元线性采样方法仿真空间像，对仿真空间像进行主成分分析和多元线性回归分析，得到相应的主成分和回归矩阵，建立与大数值孔径光刻机匹配的检测模型；像差提取阶段采集实测空间像，对实测空间像进行主成分拟合得到主成分系数，采用回归矩阵对主成分系数进行...
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