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自准直光栅干涉仪高光学细分结构

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种自准直光栅干涉仪高光学细分结构，包括光栅标尺，第一直角棱镜、第二直角棱镜、第三直角棱镜、第四直角棱镜、第五直角棱镜、第六直角棱镜、第一反射镜，第二反射镜。本发明使光栅干涉仪的测量光束在高衍射效率的光栅标尺和反射镜之间来回反射，同时充分利用光栅在布拉格角度下更容易获得高衍射效率的特点以增加被光栅标尺衍射的次数，从而达到光学高细分的效果。 | A high optical subdivisio...
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