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步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置

2017年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　一种步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置，特点在于该装置包括狭缝基框、上组件、下组件、Y向平衡质量系统、右组件、左组件和X向平衡质量系统，本发明在不影响刀口的运动和定位的同时，可完全消除振动力。 | The invention provides a scanning slit device of a step-and-scan lithography machine for automa...

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