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成像椭偏仪的系统参数校准方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种成像椭偏仪系统参数的校准方法，可校准成像椭偏仪的系统参数，包括起偏器的偏振方向、检偏器的偏振方向、左右光栅尺的原点位置。该校准方法过程简单、准确，重复性高。校准完成后，无需调整系统部件即可直接测量，从而简化测量过程、提高测量精度。 | The invention discloses a system parameter calibration method for an imaging e...
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