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基于溶胶射流靶的LPP-EUV光源系统

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种基于溶胶射流靶的LPP?EUV光源系统，由溶胶发生装置、溶胶喷射?循环装置、LPP?EUV发生装置和泵浦激光源所构成。首先由溶胶发生装置产生溶胶，再经溶胶喷射?循环装置而在LPP?EUV发生装置内形成溶胶射流靶。由泵浦激光源输出泵浦激光，进入LPP?EUV发生装置后作用于溶胶射流靶。本发明基于溶胶射流靶增强LPP?EUV光源的可靠性与稳定性，为EUV光刻系统的高效稳定运行提供有力保障。 |...
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