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磷矿伴生氟硅制备四氟化硅电子气体及检测技术研究

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　1、课题来源与背景
　　课题来源：国家质量监督检验检疫总局科技计划项目
　　背景：四氟化硅是电子和半导体行业中的一种重要原料，主要用于硅化钽、氮化硅等的蚀刻剂、P型掺杂剂及外延沉积扩散硅源；此外，四氟化硅还广泛应用于生产水泥、电子材料、太阳能电池元件、复印机感光鼓、特大规模集成电路等，随着激光在有机反应应用的发展，还可以用作光敏剂等。
　　四氟化硅现有的生产...
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