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一种用于吸收太赫兹波的超薄金属膜的制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种用于吸收太赫兹波的超薄金属膜的制备方法，通过对表面易氧化的金属薄膜进行氧化形成氧化层，刻蚀去除氧化层，反复进行氧化和刻蚀，最终得到需要厚度的超薄金属膜。该方法可以获得磁控溅射法无法直接制备的超薄金属膜，具有薄膜厚度均匀、可控的特点，且制备工艺简单，与MEMS工艺兼容。该方法制备的超薄金属膜还具有高比表面积、低反射率的特点，用作太赫兹辐射吸收层可有效增强吸收性能和效率。...
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