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一种可兼容不同尺寸基片和不同薄膜的磁控溅射镀膜夹具

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明提供了一种磁控溅射镀膜夹具，属于磁控溅射镀膜设备领域。包括基片架1、卡盘2、销钉3，其特征在于，还包括设置在基片架1和卡盘2之间的中间级圆盘4，所述中间级圆盘4通过销钉3固定在基片架1上，所述中间级圆盘4上设置有螺孔10，所述卡盘2通过带螺母套的钩钉5固定在中间级圆盘4上，所述中间级圆盘4的内接正方形区域设置2～8×2～8的大小相同的螺孔，螺孔内有内螺纹，使用时根据基片的尺寸和形状选择螺...
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