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适于氧化钒或掺杂氧化钒薄膜的电极材料及其制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种与氧化钒或掺杂氧化钒热敏薄膜接触的电极材料及其复合膜系结构制备方法，采用金属钒纳米层修饰的金属钛薄膜作为与氧化钒或者掺杂氧化钒热敏薄膜的引出电极，该电极可以采用上电极或下电极方式与氧化钒或掺杂氧化钒薄膜形成接触。复合金属电极制备工艺简单，且与IC制造工艺及MEMS制造工艺兼容，易于与氧化钒或掺杂氧化钒薄膜接触形成欧姆接触特性。...
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