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一种双层微测辐射热计及其制作方法2

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种双层微测辐射热计及其制作方法，包括用于非制冷红外探测器或非制冷太赫兹探测器微测辐射热计的微桥结构，其特征在于，该微桥由上桥面和下桥面两个独立的桥面所组成，光吸收材料处在上桥面、热敏电阻材料处在下桥面，微桥上桥面的四根上下桥面连接柱与微桥下桥面的金属热量传输层相连接。微桥的上桥面包含一层或多层光吸收材料。这种双层微桥一方面具有较高的光吸收率和填充因子，另一方面还具有较高的温度均匀...
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