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晶圆单片腐蚀装置2

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本实用新型提供了一种晶圆单片腐蚀装置，其包括喷头和喷管组件，喷头端部的侧面为锥面，在喷头端部的相对两侧锥面上分别设有第一喷嘴和第二喷嘴，喷管组件包括第一喷管和第二喷管，第一喷管和第二喷管均连接喷头，且第一喷管与第一喷嘴相连通，第二喷管与第二喷嘴相连通。通过上述方式，本实用新型能够改善晶圆表面的腐蚀均匀性。...
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