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硅基纳米周期波导微腔的传感特性研究

2017年 基础理论
  • 成果简介
　　传感技术是获取人类生产和生活中各种重要信息的主要途径与手段，在信息时代背景下它已成为新的经济增长点，渗透到国民经济的各个行业并发挥着重要的作用。与其它类型的传感器相比，集成光学传感器具有灵敏度高、微型化、高选择性、抗电磁干扰、性能稳定、低成本、对待测物的耗费少等优点，特别适合于生物传感应用，因此备受广泛关注。以电子工业中半导体硅材料为衬底，目前已经发展起多种类型的集成光学传感器，通过使用成熟的...
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