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高纯硅烷工业化生产技术

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本项目以开发高纯硅烷工业化制备技术为指导，系统研究并开发以下关键技术及装备：
　　1.全新四氯化硅、冶金硅共加氢制备三氯氢硅工程技术及配套专利装备
　　流化床反应器内件设计新颖合理，解决了硅粉对反应器的局部磨蚀问题，延长了反应器的使用寿命。采用四级串联内置旋风分离器，在确保气固分离效果的前提下，分离出的固体粉尘自流回反应器内部继续参加反应，既避免了外置旋风带来的物料泄漏...
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