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PSS衬底大功率蓝光LED高端芯片关键技术研究开发及产业化

2017年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　项目充分利用公司从 GaN 材料外延到管芯制备成套生产线的优势，在光刻、腐蚀、蒸镀等工艺方面有成熟的工艺可以借鉴，重点组织了攻关小组对 GaN 外延材料生长工艺和蓝光芯片制备进行研究，突破了 PSS 衬底制备技术、PSS 衬底外延生长技术、功率型高端蓝光LED 芯片制备技术等多项关键技术，并成功导入生产，实现批量化生产能力。项目完成后可实现年产45×45mil2 芯片 2000 万8×20mi...

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