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三维原子力显微镜系统

2017年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本项目构建了三维原子力显微镜系统，通过本项目的研究，开发了探针双向振动探针加持装置，实现了探针双向谐振；开发了高带宽光电信号调理电路以及基于改进型数字锁相放大器，实现了高速、高分辨率探针形变信号检测；完成了基于法向探测的三维形貌获取方法、基于变角度反馈控制的三维形貌获取方法以及探针形貌标定及三维图像重建方法研究，实现了对晶圆刻线结构高精度三维形貌表征；完成了基于梯形算子的压电驱动器迟滞性前馈校...
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