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一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测方法，本发明先使用体积分数为1％-5％的溴甲醇溶液，对晶片（111）B面进行10-30分钟的化学梯度减薄，获表面为斜面的样品。再使用Everson腐蚀液揭示晶体的缺陷，在100倍视场下用光学显微镜进行观察，确定损伤层刚好完全去除的位置，比较损伤层去除前后的晶片厚度差异，计算损伤层厚度。
　　本发明的优点是：
　　（1）通过观察晶片表面缺陷的...
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