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用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置与方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置，包括：斐索干涉仪、第一标准镜、第二标准镜、45度平面镜、拼接位移台、二维调整架、倾斜二维调整架。本发明在被测45度平面镜上方加入反射镜，使光原路返回，对45度平面镜进行子孔径拼接干涉测量，采用变权重法对子孔径面形数据进行拼接，得到全口径面形。本发明具有：1，操作简易，45度平面镜镜面不易变形，测量精度高；2，子孔径面形数据采用变权重数据融合拼接...
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