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空间滤波器的调试装置和调试方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  一种在真空条件下运行的空间滤波器的调试装置和调试方法,该装置和方法具备结构简单,调整方便,调试精度高等特点,并可利用测量过程中产生的横向剪切干涉条纹对空间滤波器的光学质量进行评估,提升空间滤波器的装校和检测水平,支撑激光驱动器技术研究。 | The invention provides a spatial filter debugging device running on a vacuum ...
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