首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

物镜成像系统的波像差检测装置及其系统误差校正方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种物镜成像系统的波像差检测装置，包含：光源、沿该光源发出光方向依次放置的准直镜、分光镜、聚焦镜和标准球面反射镜，以及数据处理单元、与该数据处理单元分别连接的波前传感器、第一精密调整台和第二精密调整台；在本发明中，测量过程和系统误差标定过程的切换是通过改变标准球面反射镜5的位置来实现，由于两次测量过程中，标准球面反射镜5具有相同的调节精度，因此可以有效的完成装置系统误差的标定测量并...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统