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大气压平板介质阻挡多脉冲辉光放电的形成、特性和机理

2017年 基础理论
  • 成果简介
  目前,低温等离子体技术已广泛应用于臭氧合成、材料表面改性、半导体工业、等离子体显示及污染物处理等领域。通常产生等离子体的方法有电弧放电、电晕放电和介质阻挡放电(dielectric barrier discharge,DBD)。与电晕放电和电弧放电相比,介质阻挡放电能够能很容易地产生温度、密度适中的低温等离子体。其中,大气压DBD 由于不需要复杂且昂贵的真空设备,因而在工业上的应用前景十分广阔...
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