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以半浮栅器件为代表的新结构器件的研发及产业化

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　报奖题目：以半浮栅器件为代表的新结构器件的研发及产业化
　　报奖类型：技术发明奖
　　参加单位：复旦大学，苏州东微、华虹宏力、上海集成电路研发中心
　　项目简介：
　　随着集成电路进入后摩尔时代，传统的MOSFET按照摩尔定律微缩日益艰难。在这种背景下，一旦有新型器件的发明和应用，就可能引起集成电路行业的重大技术变革。因此，进行具有重要应用前景的...
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