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LED用高效2"蓝宝石单抛衬底片

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

相对于Si、Sic等其他衬底，蓝宝石衬底有稳定性高、技术成熟、机械强度高、性价比高等优点，因此使用蓝宝石衬底仍然是现在LED产业主流。目前国内在批量生产蓝宝石衬底片的工艺过程中，破裂及塌边比例较高，研磨及抛光后，蓝宝石衬底片表面划痕较多，有的衬底片表面因未能完全去除加工损伤层，需要重新研磨抛光，致使部分衬底片因厚度偏薄而报废，此项成果产品解决了生产过程中技术参数难控制的问题，有效提高生产率...

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