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集成混合及敏感功能的双模式声波分析芯片的研究

2017年 基础理论
  • 成果简介
　　本研究将具有敏感和混合功能模式声表面波器件结构集成的方法，实现微分析芯片中敏感和混合功能的有机集成。研究采用理论研究与实验实践相互结合的研究方式，研究各模式声表面波的产生机理、传播特性、器件结构和功能特点，丰富和完善敏感及混合功能模式声表面波相关理论体系。同时，对器件的制备、测试和应用进行了研究。已出版发表研究论文7篇，授权发明专利4项，培养已毕业研究生5人。通过该研究，在微分析芯片和功能模式...
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