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电容式微机械陀螺

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　硅微机械陀螺是用微机电系统（MEMS）技术在硅片上批量制作的角速率传感器，是车辆、航行器运动状态测量的核心元器件。然而能满足战术导弹、空天飞行器等应用要求的高精度产品却一直受到国外的技术封锁和产品禁运。为解决武器装备核心器件受制于人的问题，必须要自主研制高精度硅微机械陀螺。
　　本项目发明了硅微机械陀螺的全滑膜阻尼敏感表头结构、基于机械滤波的ΣΔ高阶噪声抑制电路、系统级陀螺误差补偿...
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