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高性能AZO薄膜制备新技术

2017年

应用技术

中期阶段

成果简介

　　我公司需要自主研发一项提高AZO薄膜性能的制备技术，并形成自己的专利技术，然后研制成功高性能铜铟镓硒薄膜太阳电池产品，最终实现商品化，并推向市场。
　　核心技术是对AZO靶材重稀土掺杂的溶胶-凝胶技术和加速器重离子注入对AZO薄膜改性。
　　这项提高AZO薄膜性能制备的新技术，通过重稀土元素对溅射靶材的掺杂和加速器重离子注入与修饰的方式，对AZO薄膜内部及表面改性，改变...

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