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脆硬材料高精度超薄片多线切割机床研究开发

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　研究开发一种满足压电晶体、半导体硅晶、精密光学玻璃、磁性材料等脆硬材料的 高精度薄片切割加工的多用途中型多线切割机。包括：
1、高精度工作台进给系统的研究设计，采用在线光栅测量系统确保工作台移动精度精确到微米级；
2、设计研发独立的 主轴轴承座和主轴内部循环冷却系统，确保罗拉轴系统的温升恒定，保证轴向位置的定位精度；
3、高精度罗拉轴...
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