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用于物联网的新型硅纳米材料高灵敏压力传感器研究

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　目前国内的微型压力传感器或变送器市场主要由传统的机械电容式和带前置放大电路的陶瓷电容式占有，其采用放大器增大输出，并非获得真实的微小压力量程，因此输出灵敏度、产品稳定性和适用寿命较差，急待研发基于新材料的高新技术产品替代，开展基于纳米硅薄膜的高灵敏度超微压压力传感器研究势在必行。
　　该成果来源于2012年浙江省公益技术研究工业项目，研发用于物联网的高灵敏度压力传感器，完成传感器的...
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