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双面平行对称硅梁质量块结构及其制备方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种以硅各向异性腐蚀为关键技术的双面平行对称梁质量块结构和制作方法。属于微电子机械系统领域。其特征在于，悬臂梁对称分布在质量块的上、下两个面上，且上、下两个面上的悬臂梁两两平行，并且双面平行对称梁和质量块在各向异性腐蚀过程中一次成型，其结构尺寸可以精确控制。
本发明提供的一种双面平行对称梁质量块结构及其制作方法，和之前的结构及方法相比，加工工艺简单，能够同时完...
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