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一种传感器非敏感区域保护薄膜的制备方法

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
纳米材料由于其尺寸小、具有大量的表面/界面，对环境变化极为敏感，在传感器方面有广泛的应用前景。硅纳米线由于具有稳定、可重复的电学特性，其电导率易被调制，且表面容易进行生物修饰，因此硅纳米线传感器成为新一代生物传感器的重要代表。利用硅的各向异性腐蚀原理，结合 MEMS 制造工艺，采用自上而下的加工方法，低成本、大批量、精确定位地实现了高纯度、高均一性、高精度的硅纳米线制造。在此基础上，以制造...
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