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基于位相环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法，该方法采用相位环作为检测标记，通过对相位环空间像进行主成分分析，提取出受像差影响的空间像的主成分，再利用多元线性回归分析建立主成分系数与波像差之间的线性关系模型，根据该模型可以从空间像中提取波像差。与同类方法相比，本发明仅需采集检测标记在不同焦深位置的空间像即可同时提取出高阶奇偶像差，具有检测速度快的优点。同时，本发明设计的检测标记的...
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