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光束位置和角度的调节装置

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于光刻机曝光系统的光束位置与角度调节装置，其特点在于该装置由沿光束前进方向依次的普通透镜、双焦镜、图像传感器和计算机构成，所述的普通透镜和所述的双焦镜的长焦距共焦点，所述的图像传感器感光面位于所述的双焦镜的后焦面，所述的图像传感器的中心在系统光轴上，所述的图像传感器的输出端与所述的计算机的输入端相连。本发明装置不仅能够实现光束位置与角度的精确调节，而且结构简单、成本低。...
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