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高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法，包括以下步骤：制作部分透光平板；在移相干涉仪输出的平行光束方向依次设置所述的部分透光平板和待测高反射率凹面锥形反射镜，所述的待测高反射率凹面锥形反射镜的锥面朝向移相干涉仪的出光方向；调整光路；利用移相干涉仪检测干涉条纹，得到所述的高反射率凹面锥形反射镜的面形信息。本发明具有操作简单，易于测量，对测量件无损伤等优点。...
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