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TE偏振垂直入射-1级高效率倾斜透射石英光栅

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

一种用于1550纳米波长的TE偏振垂直入射-1级高效率倾斜透射石英光栅，其特征在于光栅的光栅周期为1460～1480纳米，占空比为 0.328，倾斜角 33～35度，光栅深度为1060～1065纳米。当TE偏振光垂直入射时，其透射光-1级衍射效率可高于90%。本发明TE偏振垂直入射-1级高效率倾斜透射石英光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有...

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