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极紫外光刻光源收集镜污染测量装置

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，其特点在于，该装置包括准直激光光源、线起偏器、消偏振分光器、样品器、四分之一波片、同步移相器、信号处理系统和极紫外光源收集器，其位置关系是：所述的准直激光光源出射的准直光束依次经过所述的线起偏器和所述的偏振分束器后，在所述的样品器的前表面和后表面分别反射形成反射光，该反射光再被所述的消偏振分光器的分光面反射，然后依次经过所述的四分之一波片和所述的同步移...
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