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一种统计焦平面铟柱阵列高度数据的处理方法

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
此成果是一种统计焦平面铟柱阵列高度数据的处理方法。本发明根据焦平面器件铟柱的形状特点对由激光共聚焦显微镜获取的焦平面表面形貌数据进行数据处理，最终获得整个器件的铟柱高度数值及其统计分布。本发明包括：
1，获取焦平面器件表面形貌数据矩阵，并生成对应的坐标矩阵；
2，通过计算确定铟柱高度统计分析的基本高度；
3，利用基本高度分离单个铟...
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