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Si基薄膜太阳电池用Nb掺杂ZnO透明导电薄膜研究

2015年

应用技术

初期阶段

成果简介

本研究采用磁控溅射法，以Nb2O5掺杂ZnO（NZO）为靶材，利用H2共掺杂方式，通过调整溅射的工艺参数，制备具有低电阻率，高近红外光区透过率的NZO薄膜。采用XRD衍射仪、Hall测试仪、紫外可见近红外分光光度计、原子力显微镜分别对制备的薄膜的结构、电学、光学和形貌等特性进行研究。最终，通过工艺参数的优化，制备出电学特性与AZO薄膜相近，长波区域透过率高于AZO薄膜的NZO薄膜，为进一步...

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