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磁控溅射制备铟锡氧化物透明导电薄膜技术研

2015年

应用技术

初期阶段

成果简介

ITO透明导电薄膜对可见光透过率>85％，红外光反射率达90%，且导电性好，有优良的化学稳定性、热稳定性和刻蚀性。广泛应用于平板显示器、防辐射玻璃、太阳能电池板等领域。长期以来，ITO磁控溅射镀膜技术被日本，韩国所垄断，这些日韩企业从中国低价购入原材料铟，经加工成高附加值的高技术产品再高价销往我国大陆及其他国家，申请并拥有本领域的众多专利技术。
磁控溅射制备ITO透明导...

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