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多晶硅还原炉运行参数的优化

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1.课题来源与背景
(1)课题来源
本项目为西宁市科技攻关项目,项目编号2011-G-01。
(2)课题背景
多晶硅是半导体集成电路和太阳能光伏电池的原材料,处于信息产业和可再生能源产业链的最前端,在国民经济和国防建设中起着重要的作用。亚洲硅业(青海)有限公司采用改良西门子法,以氢气和三氯氢硅为原料,通过还原反...
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