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一种ECR等离子体溅射装置的腔体结构

2015年

应用技术

初期阶段

成果简介

本发明涉及电子回旋共振（ECR）等离子体溅射装置，公开了一种能够方便转换粒子源的ECR等离子体溅射装置的腔体结构。它包括：左真空腔（1）、右真空腔（2）和至少两个靶材腔（3、4），靶材腔（3、4）连接在左真空腔（1）、右真空腔（1、2）之间，靶材腔（3、4）内设置有靶材，其特征在于，相邻靶材腔（3、4）之间设置有垫圈（5），垫圈（5）的径向设置有传动杆（17），传动杆（17）的内端设置有齿...

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